某半导体技术开发行业因晶圆擦洗工步产生含氨废水外理，的水量200吨/天。废水外理中除氟化物外还含氟化物和微量分析天价属，外理难度系数大。本省尾气排放规范的的标准氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 污水营养成分及的来源 晶圆清洁化工废水（重点主要来源）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工步生产废水：含少量铜、镍等高价属，pH值浮动大 CMP粉磨废污水：含硅小粒及化学需氧量 加工加工制作工艺 工作流程 适用"化学工业析出+膜溶合+折点氯化"组装施工工艺： 预整理 ：加药CaCl2除氟，保持pH在7.5-8. 反渗透装置体系 ：取除0.01μm上文粒状物 反渗浓缩提炼 ：将氯离子浓缩造成至1000mg/L超过 折点氯化 ：精确度高控制氯加药系统量，将挥发酚转换为氦气 铁离子对调 ：维护巨资属未达标 结果英文成效 氯离子增强＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含锌量不高于检查测量限 水回收利用率达75% 工业废水造成量减低40%