该厂为8英尺晶圆加工线整套搭配的超蒸馏水软件系统，每顿饭生产含硅废液150吨。废液中虽无血本属，但硅含碳量高易结渣，且热敏电阻率需高达18MΩ·cm就能够回收利用。多余处里工艺设计时未充分满足新实施的《电子无线鑫霖环保水污染源物产生基准》（GB39731-2020）尤其是产生规定值。 废液组分特质 大部分严重废水 ：固体硅（200-300mg/L）、粒状硅（比表面积0.1-1μm） 特异追求 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水的质量因素 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅有机物形状冗杂 处理技术步骤流程 全新应用"梯级膜转移+电去阴阳离子"搭配流程： 微滤预办理 ：1μm瓷砖膜过滤大颗粒剂硅，通量能维持80LMH 阴离子交流树酯 ：D201大孔环氧树脂选购性粘附硅酸分子式 二级考试RO装置 ：第二步段回收处理率60%，第二步段使用高脱硼膜部件 EDI电去化合物 ：电流量黏度2A/m²，持续不断取除的残留物阳离子 紫外线除臭 ：254nmUV直射线使用量40mJ/cm² 技术水平短板 的开发特用阻硅剂（生产胺类符合物），推迟膜影响周期时间3倍 EDI组件全新流道设计构思，硅删去率完善至99.8% 线上硅浅析仪（测量方法依据0.1-500μg/L）构建精细控制 程序运行作用 经最后方查测： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼含磷量从8μg/L降为0.3μg/L 设备回收分类处理率从原40%不断提升至68% 膜改换时间廷长至5年，年程序运行料工费下降35%