该案列来自于华北地段家中型半导体器件制造出机构,重要出产集成化用电线路鑫霖环保芯片。在出产进程中,晶圆进行维护清洁、蚀刻等流程需施用很大自动化级磷酸(色度≥85%),从而存在高氧化还原电位含磷污废水 。机构原来办理装置没办法无法也日益严格要求的尾气排放规格规格(TP≤0.5mg/L),急需要更新升级改变。
化工废水材料及特征
化工废鑫霖环保处理包括种类于五个节点:晶圆进行维护清洁化工废鑫霖环保处理(占总排水量60%)、机械设备清洁化工废鑫霖环保处理(30%)包括地上清洁化工废鑫霖环保处理(10%)。地表水特征英文表面为:pH值1.5-2.5,总磷氧化还原电位800-1200mg/L,氟铁离子浓度50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并包含的氢化物发生器巨资属(铜、锌等)。
治理新工艺方案
顶目所采用"预工作+普通机械沉淀自己+层级脱色+深浅过滤程序"的组装工序:
调理池
:均衡教育饮用水质出水量,要设pH网络监测数据平台
四级反映池
:加药系统制作石灰乳调整pH至8.5-9.0,演变成Ca3(PO4)2奠定
2级发生反应池
:放入PAC和PAM提高斜管沉淀池治疗效果
斜板滤渣池
:完成固液转移,工业废水進入脱水现象体系
Fenton腐蚀模块
:H2O2与Fe²⁺融合功用可降解生产物
多物质吸附器
:石英石砂+亲水性炭整合净化,加强组织领导出水出水明净
铁离子互换模式
:进一点洗去残留金属质正离子
终究结果
整体启用可靠后,出液污水水质:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴离子≤5mg/L,贴心的售后服务指数远高于《网上重工业水被污染的物尾气废水废气标准规范》(GB 39731-2020)。第年缩减磷尾气废气约15吨,工业废水带来量较老式流程减轻40%,启用投入抑制在8.3元/吨水。